German term (edited): 2/2 Wege Mikromembranventil, Mikrovolumenverdr�nger, mikromembranepumpe

Pour les micropompes à membrane voir par ex.
... 26/08/2003 Fiche technique LI517 Micropompes à membrane pour liquides NF
1.11 _ _DC Instructions d’utilisation et d’installation : ...
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électrostatique à membrane (Pôle francilien des microsystèmes); ...
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... micro-miroirs déformables auto-adaptatifs, micro-condensateurs variables mécaniquement,
micropompes électrostatiques à membrane, micro-transformateurs ...
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Note added at 6 hrs 30 mins (2005-02-11 16:00:50 GMT)
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Pour \"microvalve à membrane\", j\'ai trouvé :
... des systè mes de contrôle pneumatiques et électroniques. L’injection est faite
par des microvalves à membrane associées à une pompe miniature. ...
www.kluweronline.com/article.asp?PIPS=383918&PDF=1